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マイクロセンサ工学 現場の即戦力シリーズ

2,678円(税込)

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2009年7月3日発売
室英夫,藍光郎,石垣武夫,岡山努,石森義雄 著
A5判/248ページ
技術評論社
ISBN 978-4-7741-3904-3

センサ技術は実践的なテーマであるため,入門程度の知識だけでは現場では足りません。また,センサと一口に言っても,光から磁気,機械量から,さらには熱センサから音センサと多岐にわたり,それぞれが深く学ばないと習得できないテクノロジです。
本書は,現在センサが最も活用されているLSIテクノロジ応用をメインに,光・電磁波センサ,機械量センサ,磁気センサと,現場で求められているテーマに絞り,技術者の参考書となるような中級以上のレベルの解説書です。

1章 センサ概論
 1.1 センサとは
 1.2 センサの分類
 1.3 センサに用いられる各種変換効果
  1.3.1 光電変換効果
  1.3.2 圧電変換効果
  1.3.3 熱電変換効果
  1.3.4 磁電変換効果
  1.3.5 その他の変換効果
2章 マイクロマシーニング技術
 2.1 バルクマイクロマシーニング
 2.2 表面マイクロマシーニング
 2.3 エッチング技術
  2.3.1 ウェットエッチング
  2.3.2 ドライエッチング
 2.4 接合技術
 2.5 実装技術
3章 光センサ
 3.1 可視光センサ
  3.1.1 受光素子
  3.1.2 イメージセンサ
 3.2 赤外線センサ
  3.2.1 赤外線検出の概要
  3.2.2 量子型赤外線センサ
  3.2.3 熱型赤外線センサ
 3.3 アクティブセンサ
  3.3.1 光電スイッチ
  3.3.2 光学式変位センサ
  3.3.3 レーザレーダ
  3.3.4 光ジャイロ
4章 機械量センサ
 4.1 変位・角度センサ
 4.2 加速度センサ
  4.2.1 加速度センサ概論
  4.2.2 ピエゾ抵抗式加速度センサ
  4.2.3 静電容量式加速度センサ
 4.3 角速度センサ
 4.4 力センサ
5章 流体センサ
 5.1 圧力センサ
  5.1.1 機械的圧力─変位変換素子
  5.1.2 電気的圧力─変位変換素子
  5.1.3 圧力センサ素子の応用
 5.2 流量・流速センサ
 5.3 レベル(液面)センサ
  5.3.1 直接距離測定方式
  5.3.2 間接距離測定方式
6章 磁気センサ
 6.1 ホールセンサ
  6.1.1 ホール効果とホールセンサの駆動原理
  6.1.2 ホールセンサ材料と特性
  6.1.3 実用ホールセンサ
 6.2 ホールIC
  6.2.1 モノリシックホールIC
  6.2.2 ハイブリッドホールIC
 6.3 磁気抵抗(MR)センサ
 6.4 巨大磁気抵抗効果(GMR)素子
  6.4.1 多層膜GMR センサ
  6.4.2 スピンバルブGMR 磁気センサ
 6.5 MI センサ
 6.6 SQUID 磁気センサ
  6.6.1 SQUID センサの動作原理
  6.6.2 高分解能SQUID と高温超伝導SQUID
7章 温度センサ
 7.1 金属測温抵抗体
 7.2 サーミスタ
  7.2.1 NTC サーミスタ
  7.2.2 PTC サーミスタ
  7.2.3 CTR サーミスタ
  7.2.4 その他のサーミスタ
 7.3 熱電対
  7.3.1 熱電対の種類と特性
  7.3.2 測定にあたっての留意事項
 7.4 IC 化温度センサ
 7.5 発振型温度センサ
  7.5.1 水晶温度センサ
  7.5.2 SAW 温度センサ
 7.6 放射温度計
8章 化学センサ
 8.1 ガスセンサ
  8.1.1 固体電解質ガスセンサ
  8.1.2 半導体ガスセンサ
  8.1.3 匂いセンサ
 8.2 イオンセンサ
  8.2.1 固体電解質イオン選択性電極
  8.2.2 液体膜イオン選択性電極
  8.2.3 ISFET(Ion Sensitive Field Effect Transistor)
 8.3 バイオセンサ
  8.3.1 電気化学的バイオセンサ
  8.3.2 光学的バイオセンサ
  8.3.3 バイオセンサの将来像
9章 信号処理
 9.1 信号増幅
  9.1.1 電圧増幅
  9.1.2 電流増幅
  9.1.3 差動増幅
  9.1.4 対数増幅
 9.2 励起回路
  9.2.1 定電流回路
  9.2.2 定電圧回路と基準電圧源
  9.2.3 交流励起回路
 9.3 センサ電源
  9.3.1 商用電源駆動
  9.3.2 直流電源駆動
  9.3.3 電池駆動
 9.4 AD 変換器
  9.4.1 積分形AD 変換器
  9.4.2 逐次比較形AD 変換器
  9.4.3 フラッシュ形AD 変換器
  9.4.4 AD 変換器の重要性
Appendix 定数表
 Appendix A 半導体材料の物性定数
 Appendix B 物理定数

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  • 商品番号: 54693


この商品は2014年11月19日(Wed)に登録されました。